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化学名：四甲氧基硅烷（电子级）

CAS：681-84-5

牌号：BOSIL-681

产品信息

四甲氧基硅烷

分子式：C₄H₁₂O₄Si

分子量：152

产品特征

四甲氧基硅烷可以水解构成二氧化硅研磨粒子（硅溶胶），其疏散性及选择性好，活性极强，易于处置历程洗濯的废液，常用于硅、SiO₂层间介电层的抛光。

四甲氧基硅烷的二氧化硅含量比四乙氧基硅烷的高，做成二氧化硅研磨粒子本钱更低。

 

理化数据

注：以上数据仅供参考，不克不及作为技能规格订定

产品使用

四甲氧基硅烷（电子级）可用作溶胶-凝胶反响两头体。

四甲氧基硅烷（电子级）可以做无氯大概超低氯的耐热质料。

四甲氧基硅烷（电子级）用作半导体行业制造高品格研磨粒子。

四甲氧基硅烷比正硅酸乙酯代价低，二氧化硅含量高，可以用于制备半导体CVD制程。

 

保管贮存期

密封保管，保质期12个月。容器翻开后应封好以防水汽进入发生水解。

包装

可用容器的巨细型号可以向新ag九游会处盘问。