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电子级硅烷系列

Electronic

grade

新ag九游会股份编号:BOSIL-681

所属分类: 电子级硅烷系列

CAS NO: 681-84-5

包装规格: 塑料桶/铁桶/

产品毛重: 吨桶或客户要求

表面颜色: 无色通明液体

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产品信息

化学名:四甲氧基硅烷(电子级)

CAS681-84-5

牌号:BOSIL-681

产品信息


四甲氧基硅烷

分子式:C4H12O4Si

分子量:152

产品特征

四甲氧基硅烷可以水解构成二氧化硅研磨粒子(硅溶胶),其疏散性及选择性好,活性极强,易于处置历程洗濯的废液,常用于硅、SiO2层间介电层的抛光。

四甲氧基硅烷的二氧化硅含量比四乙氧基硅烷的高,做成二氧化硅研磨粒子本钱更低。

 

理化数据

性子

数值

表面

无色通明液体

纯度

99.5%

总阳离子含量

1ppm

总氯含量

0.5ppm

密度25

1.02±0.01g/ml

沸点760mmHg

122±1

折光率25

1.389±0.01

注:以上数据仅供参考,不克不及作为技能规格订定

产品使用

四甲氧基硅烷(电子级)可用作溶胶-凝胶反响两头体。

四甲氧基硅烷(电子级)可以做无氯大概超低氯的耐热质料。

四甲氧基硅烷(电子级)用作半导体行业制造高品格研磨粒子。

四甲氧基硅烷比正硅酸乙酯代价低,二氧化硅含量高,可以用于制备半导体CVD制程。

 

保管贮存期

密封保管,保质期12个月。容器翻开后应封好以防水汽进入发生水解。

包装

可用容器的巨细型号可以向新ag九游会处盘问。

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