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化学名：四乙氧基硅烷（电子级）

CAS：78-10-4

牌号：BOSIL-781

产品信息

四乙氧基硅烷

分子式：C₈H₂₀O₄Si

分子量：208.33

 

产品特征

电子级四乙氧基硅烷(TEOS)，次要用于IC晶圆制造历程中的CVD制程，对其纯度要求十分严厉，纯度需8N以上，各项杂质需小于1个ppb，尤其是金属离子杂质(Na、K、Mg、Fe、Ca、Al等)，金属离子是电活性杂质，会低落堆积在半导体器件二氧化硅薄膜层绝缘功能，会招致微米级的电路相互联通，从而招致电路板报废。电子质料级四乙氧基硅烷，总阳离子含量和总氯含量极低，完全具有加工成电子级四乙氧基硅烷的条件。

 

理化数据

注：以上数据仅供参考，不克不及作为技能规格订定

产品使用

四乙氧基硅烷（电子级）用于加工成电子级四乙氧基硅烷用于晶圆的制造。用于天生二氧化硅薄膜，是半导体、分立器件、微机电体系制造所需的电子化学品。

四乙氧基硅烷（电子级）用作半导体行业制造高品格研磨粒子。

四乙氧基硅烷（电子级）可以做无氯大概超低氯的耐热质料。

 

保管贮存期

密封保管，保质期12个月。容器翻开后应封好以防水汽进入发生水解。

包装

可用容器的巨细型号可以向新ag九游会处盘问。